Koji ultra visoki zahtjevi čistoće upravljaju plinskim cijevima?
SEMI F72 Standardi za površinsku završnu obradu .<5×10⁻¹⁰ torr·L/sec/cm². Particle counts <0.1 particles/cm³ (>0 . 1 μm). Sadržaj vlage<10 ppb. Metallic impurities <1 ppb.
Kako se pripremaju zavari za raspodjelu plina?
Orbitalno zavarivanje s ultra-visokom argonom čistoće . zavarivanje dvostrukog prolaza za kritične linije . elektropopoliranje na 0 . 25 μm ra . Pauzacija s dušičnom kiselinom . Konačna ronsa s 18.2 MARC.
Koje testiranje potvrđuje integritet plinske cijevi?
Ispitivanje propuštanja helija na 1 × 10⁻⁹ ATM-CC/sec . Analiza preostalog plina za kontaminaciju . Broj čestica brojanja plina pročišćenja . analize vlage laserskom spektroskopijom . Konačna certifikacija s stvarnim procesom {{7}
Kako su plinski ormarići spojeni na distribucijske sustave?
VCR pričvršćeni spoj za propuštanje za propuštanje . puhano sekundarno obuzdavanje . s dvostrukim zidovima za opasne plinove . uzemljenje za statičku kontrolu . Ograničeni protok za sigurnost za sigurnost {8}.
Koje održavanje sprječava onečišćenje plinskog sustava?
Godišnje testiranje svih veza . Nadgledanje čestica tijekom promjena plina . Redovna provjera kvalitete kvalitete plina pročišćavanja . Održavanje pakiranja ventila . Strogi postupci kontrole promjene .
